Техно новости и обзоры

  • Главная
  • Карта сайта

5

Май

Российские физики создали оксиды для наноэлектроники

В Физическом институте им. П. Н. Лебедева РАН (ФИАН) в сотрудничестве с Московским инженерно-физическим институтом созданы перспективные материалы на основе оксидов переходных металлов, необходимые для изготовления функциональных элементов наноэлектроники

Миниатюризация полупроводниковых приборов требует новых материалов. Ключевой элемент таких устройств — так называемые МДП-структуры (металл, диэлектрик, полупроводник, см. также здесь). Для их функционирования абсолютно необходимы диэлектрические слои, но чем они тоньше, тем сложнее их получить. Рабочие параметры повсеместно используемого в качестве диэлектрика диоксида кремния практически доведены до предельных значений.

Российские физики получили и исследовали на предмет пригодности для наноэлектроники четыре группы оксидов на основе переходных металлов. «Получить оксиды переходных металлов — это не просто взять и присоединить кислород к металлу, — объясняет руководитель научной группы Владимир Неволин, заместитель директора ФИАНа. — Это весьма специфичный, строго контролируемый процесс, требующий решения целого ряда как физических, так и практических задач».

Ученым удалось не только показать, что одним из самых перспективных для наноэлектроники диэлектриков будет оксид европия, но и исследовать особенности техпроцесса получения этого материала. «Проблема в том, — продолжает Владимир Неволин, — что оксид европия, который нужен для решения подобных задач, не может существовать просто так, он неустойчив, тут же начинает дополнительно присоединять кислород и переходить в конечную фазу Eu2O3. Значит, технологический процесс должен быть таким, чтобы при получении EuO строго дозировалось количество осаждаемых атомов европия и участвующих в этом атомов кислорода. При этом нужно иметь возможность тут же, в сверхвысоком вакууме, как только образуется EuO, во-первых, in situ показать, что это именно так, а во-вторых, накрыть его каким-то слоем, дабы не дать кислороду все испортить».

Задачу удалось решить методом импульсного лазерного прецизионного осаждения, осуществляемого при довольно неравновесных условиях. Технология не является ни промышленной, ни даже полупромышленной, но именно она позволяет отработать конкретную методику получения конкретного слоя или комбинации слоев.

Владимир Неволин убежден, что метод импульсного лазерного осаждения очень интересен с точки зрения отработки технологии, выяснения физики процесса и рекомендаций к производству. «В такой полупромышленной установке, как молекулярно-лучевая эпитаксия, сочетать это нельзя, там другие условия, там нет сверхвысокого вакуума именно в той зоне, в которой нужно проводить исследования, — поясняет ученый. — Это, с одной стороны, фундаментальная наука, но именно она дает практический результат: мы получили конкретные требования к тому, как должен быть реализован технологический процесс изготовления идеальных параметров данного слоя. А значит — это уже практическая наука, это уже прикладная вещь, позволяющая давать рекомендации и организовывать полупромышленные или даже промышленные технологии».

Возможно заинтересует:

  • Нашли нанотрубки — будет вам и нанопаяльник
  • iTunes придет в Россию
  • Подробности о революции в медицине стволовых клеток
  • Россия готова поделиться ГЛОНАСС с другими странами
  • Виктор Петрик тайно создает новые супер-фильтры

Свежие записи

  • Нашли нанотрубки — будет вам и нанопаяльник
  • Команда AnTuTu назвала самые выгодные смартфоны по соотношению цены и производительности
  • Апгрейд экрана, даунгрейд камеры. Опубликован официальный рендер смартфона Moto Z4
  • iTunes придет в Россию
  • Подробности о революции в медицине стволовых клеток

Архивы

  • Февраль 2023
  • Январь 2023
  • Декабрь 2022
  • Ноябрь 2022
  • Октябрь 2022
  • Сентябрь 2022
  • Август 2022
  • Июль 2022
  • Июнь 2022
  • Май 2022
  • Апрель 2022
  • Март 2022
  • Февраль 2022
  • Январь 2022

Последние записи

  • Нашли нанотрубки — будет вам и нанопаяльник
  • Команда AnTuTu назвала самые выгодные смартфоны по соотношению цены и производительности
  • Апгрейд экрана, даунгрейд камеры. Опубликован официальный рендер смартфона Moto Z4
  • iTunes придет в Россию
  • Подробности о революции в медицине стволовых клеток
  • Привет из Парижа. Первые фотографии, сделанные на камеру Huawei P30 Pro
  • Россия готова поделиться ГЛОНАСС с другими странами
  • 55 и 65 дюймов, игровые и социальные функции, две камеры. Первые детали об умных телевизорах Huawei
  • Виктор Петрик тайно создает новые супер-фильтры
  • Представлен смартфон Huawei Mate 20 X 5G. Емкость аккумулятора уменьшилась, зато повысилась скорость зарядки
  • Случайные записи

    • Запад теряет лидерство в гонке вооружений
    • Основы Теории развития общества
    • В Китае создали клон российской ракеты
    • 16 суток в режиме ожидания. В аккумуляторе Redmi 7 применены новый графитовый анод и умные технологии
    • Cмартфоны Xiaomi ломаются в 43,7% случаев, и это очень хороший показатель
    • Ученые открыли эффект ложных воспоминаний и дежавю после рекламы
    • Япония готовится к войне за спорные территории?
Все права защищены © 2022 Техно новости и обзоры.